松下晶圓定位傳感器樣本,F(xiàn)X-301
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3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)
檢測(cè)角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時(shí),可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下
消耗電流 65mA以下 NPN輸出/PNP輸出 可由切換開關(guān)選擇
<NPN輸出>裝備(自動(dòng)復(fù)位)
耐振動(dòng) 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí)
耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(調(diào)制式)
工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)
穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)
定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器 有效/無效切換式
NPN開路集電極晶體管?較大流入電流:100mA
外加電壓:30V DC以下(輸出和0V之間)
剩余電壓:1V以下(流入電流為100mA時(shí))
0.4V以下(流入電流為16mA時(shí))
PNP輸出>
PNP開路集電極晶體管
較大源電流:100mA
外加電壓:30V DC以下(輸出和+V之間)
剩余電壓:1V以下(源電流為100mA時(shí))
材質(zhì) 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長300mm
反應(yīng)時(shí)間 500μs以下 0?+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí):?10?+70℃
使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí): 35?85%RH
使用環(huán)境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
松下晶圓定位傳感器樣本,F(xiàn)X-301
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