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IR1020-01SMC真空減壓閥
一旦手輪順時針回轉(zhuǎn)，設(shè)定彈簧力使膜片及主閥推下，
VAC側(cè)和SET側(cè)接通，SET側(cè)的真空度增加(向真空變化)。
然后，SET側(cè)的真空壓力通過氣路進入真空室，作用在膜片上方，
與設(shè)定彈簧的壓縮力相平衡，則SET側(cè)的壓力便被設(shè)定。
若SET側(cè)的真空度比設(shè)定值高（向真空變化），
設(shè)定彈簧力和真空室的SET側(cè)壓力失去平衡，膜片被上拉，則主閥芯關(guān)閉，
大氣吸入閥芯開啟，大氣流入SET側(cè)，當設(shè)定彈簧的壓縮力與SET側(cè)壓力達到平衡時，
在導(dǎo)向環(huán)(滑動)部分使用NSF-H1的潤滑脂。
采用間隙密封型溢流閥，提高耐久性。
滑動部采用特殊氟素樹脂密封材料。
放置穩(wěn)定，不易受壓力影響。
可進行真空管路的壓力控制。
壓力表·數(shù)字式壓力開關(guān)的安裝角度變更
容易。（每旋轉(zhuǎn)60°有一個安裝位置）
采用夾子固定方式，拆裝壓力表、數(shù)字式壓力開關(guān)簡單。
手輪分辨率 0.13kPa以下
環(huán)境溫度及使用流體溫度 5
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