概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1
反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,
通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。
因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、
下方四個(gè)方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm,
質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。
保護(hù)構(gòu)造 IP20(IEC)
使用環(huán)境溫度 0?+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí):?10?+70℃
使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí): 35?85%RH
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
以反射光的位置來檢測(cè),不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振動(dòng) 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí)
耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(調(diào)制式)
材質(zhì) 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長(zhǎng)300mm
電纜延長(zhǎng) 0.15mm2 以上的電纜全長(zhǎng)可延長(zhǎng)至10m
重量 本體重量:約75g
概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1
021-39526589
網(wǎng)址:m.medieval.com.cn
地 址:上海市嘉定區(qū)嘉涌路99弄
6號(hào)樓713室