koganei小金井調(diào)壓閥NVR200-02-B

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先導式（金剛石非柱塞間接操作式） 。-

實現(xiàn)了可抵抗流量變化的出色壓力穩(wěn)定性

。-輕量（0.20 kg）緊湊（50 x 40 x 109）設(shè)計采用間接操作型。此外，實現(xiàn)了大流量。

-可選擇管道連接直徑（Rc1 / 8，Rc1 / 4） -

通過連接真空管路可任意設(shè)定真空壓力。

-輕量，緊湊，面板安裝也可以在面板上打孔。只需使用即可輕松使用

空氣調(diào)質(zhì)組合 過濾調(diào)壓閥FR系列

使用流體空氣，N2, CO2, He, Ar

運行方式橡膠膜片式

配管連接口徑M5^0.8, Rc1/8, Rc1/4

感度MPa 0.001

壓力設(shè)定范圍MPa 0.01-0.25 .

高使用壓力MPa 0.9

耐壓MPa 1.5

使用溫度范圍oC 5~60

空氣消耗量s R/min(ANR) 2以下

質(zhì)量kg 0.231 (含本體，插頭,六角螺母)

選項壓力計G3:壓式樣(0.3MPa)

托架單體安裝用L形托架(質(zhì)量0.025kg)

調(diào)壓閥R系列

■體積小巧，調(diào)壓穩(wěn)定，排氣流量大

■套管鎖定式調(diào)壓把手，調(diào)壓輕松順利

■帶預設(shè)指示器的壓力計為標準配置

■壓用及內(nèi)置單向閥機構(gòu)型產(chǎn)品也已系列化

壓力設(shè)定范圍0.05~0.83MPA(標準型)、過濾精度5μM

調(diào)壓范圍: 0.05 ~ 0.83MPa (Mpa)

規(guī)格:清潔標準空氣調(diào)質(zhì)組合過濾器調(diào)壓閥FR系列

高使用壓力: 0.83MPa (Mpa) MPa

清潔標準空氣調(diào)質(zhì)組合過濾器調(diào)壓閥FR系列清潔標準空氣調(diào)質(zhì)組合過濾器調(diào)壓閥FR系列過濾精度

壓力設(shè)定處理空氣量配管連接口徑5μm

0.05 ~

0.83MPa100~ 3000 l/minRc1/8~ Rc1/2

●采用多孔中空絲膜濾芯，了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。

●過濾精度高、小型流量大、壽命長

●是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器

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