美國派克PARKER氣動隔膜閥應(yīng)用參數(shù)
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930 系列隔膜閥(1-1 / 8英寸的閥體尺寸)可用于各種手動操作和氣動執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的性,泄漏完整性和清潔度,使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為的應(yīng)用。
這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計特點,給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。
930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān),用以提供開-關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選,包括930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行氦氣泄露測試,以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中,保有其性能和穩(wěn)定性。
派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計,可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導(dǎo)體應(yīng)用中必不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計,控制閥座和隔膜應(yīng)力,以提供穩(wěn)定和免維護的使用壽命
特點與YS:
·電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)·高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務(wù))
·內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留·全壓力范圍使用:從真空到300 psig
·內(nèi)部泄漏率: ≤1× 10-9 scc / sec He·外部泄漏率:≤2×10-10 scc / sec He·AOP驅(qū)動,額定壓力為75 psig
應(yīng)用:
·腐蝕性氣體和特種氣體·半導(dǎo)體工具
·工具連接·燃氣柜
·閥組箱(VMB)
930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的VericleanTM 316L不銹鋼材質(zhì)。
Vericlean”是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質(zhì)。930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚配迷醚酮樹脂(PEEKR)和聚酰亞胺(Vespel@)材質(zhì)的閥座,可使930閥門與多種工藝流體相兼容。
市場:·半導(dǎo)體·分析實驗室·制藥
·生物制藥·航空航天·工業(yè)
021-39526589
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