松下晶圓定位傳感器訂貨方式M-DW1

松下晶圓定位傳感器訂貨方式M-DW1

規(guī)格

種類    LED式反射型

型號(hào)       M-DW1

中心測量距離 45mm

檢測物體              3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

可對(duì)應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度             12.5±5°(注4)

晶圓間距            間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5)

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓         12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下

消耗電流         65mA以下

輸出 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關(guān)選擇  <NPN輸出>

               NPN開路集電極晶體管

              ?較大流入電流：100mA 

               ?外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)

              ?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí))

　　　　　　　 0.4V以下(流入電流為16mA時(shí))

                <PNP輸出>

                PNP開路集電極晶體管

              ?較大源電流：100mA

                ?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)

               ?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí))

　　　　　　　         0.4V以下(源電流為16mA時(shí))

輸出動(dòng)作     可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON

短路保護(hù)        裝備(自動(dòng)復(fù)位)

反應(yīng)時(shí)間             500μs以下

工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)

穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)

定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器　有效/無效切換式

投光停止輸入 信號(hào)條件

               ?投光停止：斷開或4?8V

               ?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度切換輸入 信號(hào)條件

               ?輸入OFF：斷開或4?8V

                ?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設(shè)定 背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行

                 檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4級(jí)或外部輸入的2級(jí)選擇式

松下晶圓定位傳感器訂貨方式M-DW1