YS神視晶圓定位傳感器性能參數(shù)
特點
耐沖擊 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次
投光元件 紅色LED(投光波峰波長:650nm)
受光元件 光電二極管
材質(zhì) 本體外殼:PEI、前罩部:玻璃、安裝基座:鋁
電纜 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器
消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現(xiàn)光電傳感器同等的功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高性能,因此可實現(xiàn)檢測。
無需光軸調(diào)整
投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調(diào)整。
并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域,可對應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能
模擬輸出(1~5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外,還具備方便的偏移調(diào)整功能,可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
適用控制器 HD-T1C
檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)
檢測距離 30mm(固定)(注2)
保護(hù)構(gòu)造 IP40(IEC)
使用環(huán)境溫度 0~+40℃(注意不可結(jié)露),存儲時:-20~+55℃
無需任何安全措施
使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。
無需使用激光時必備的保護(hù)罩,在美國使用時不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。
施工簡便
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至較限度,維護(hù)輕松。
施工簡便
使用環(huán)境濕度 35~85%RH、存儲時:35~85%RH
使用環(huán)境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度3,000lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時
產(chǎn)品圖片:
YS神視晶圓定位傳感器性能參數(shù)
021-39526589
網(wǎng)址:m.medieval.com.cn
地 址:上海市嘉定區(qū)嘉涌路99弄
6號樓713室