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使用真空發(fā)生器的回路中的換向閥，有供給閥和真空破壞閥。使用真空泵回路中的換向閥，有真空切換閥和真空選擇閥。
供給閥是供給真空發(fā)生器壓縮空氣的閥。
真空破壞閥是破壞吸盤內(nèi)的真空狀態(tài)，將真空變成大氣壓或正壓力，使工件脫離吸盤的閥。真空切換閥就是接通或斷開真空壓力源的閥。真空選擇閥可控制吸盤對工件的吸著或脫離，一個閥兩個功能，可以簡化回路設(shè)計。
供給閥印設(shè)置于正壓管路中，可選用一般換向閥。真空破壞閥，真空切換閥和真空選擇閥設(shè)置于真空回路或存在有真空狀態(tài)的回路中，故必須選用能在真空壓力條件下工作的換向閥。真空換向閥要求不泄露，且不用油霧潤滑。故使用座閥式和膜片式閥芯結(jié)構(gòu)比較。通徑大時可使用外部先導式電磁閥。不給油潤滑的軟質(zhì)密封滑閥，由于其通用性強，也常作為真空用換向閥使用。
| 換向閥系列 Y：功率型 R：外部先導型 V：真空型 | 供給閥 | 破壞閥 | 切換閥 | 選擇閥 | 有效截面積 | 連接口徑 | ||||||||
| 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | |||
| SY100 | ○ | ○ | ○ | ○ | 0.14 | M3×0.5 | ||||||||
| SYJ300R/500R/700R | ○ | ○ | ○ | ○ | 2~14 | M3×0.5 M5×0.8 Rc1/8 Rc1/4 | ||||||||
| VZ100 | ○ | ○ | ○ | ○ | 0.6 | M5×0.8 | ||||||||
| VX31、32、33 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 1.4~9 | Rc1/8~Rc3/8 | ||||||
| VK330 | ○ | ○ | 2.7~4.2 | M5×0.8 Rc1/8 | ||||||||||
| VK330V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VX2 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 3~43 | ||||||||
| VT301、315 325、307、317 | ○ | ○ | 2.3~27 | Rc1/8~Rc3/8 | ||||||||||
| VT301V、315V 325V、307V、317V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VP300R、500R、700R | ○ | ○ | ○ | ○ | 16.2~72 | |||||||||
| VS311□ | ○ | ○ | ○ | ○ | 19.8~81 | Rc1/8~Rc3/4 | ||||||||
| VEX3□□□ | ○ | ○ | ○ | 25~670 | Rc1/8~Rc2 | |||||||||
| VEX3□□1 | ○ | |||||||||||||
| VP31□5 | ○ | ○ | 90~670 | Rc3/8~Rc2 | ||||||||||
| VP31□5V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VG342R | ○ | ○ | ○ | ○ | 140~235 | Rc1/2~Rc1 | ||||||||
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